马萨诸塞州安多弗 - 2019 年 10 月 22 日- MKS Instruments, Inc.（纳斯达克股票代码：MKSI）是支持先进工艺和提高生产力的技术的全球供应商，今天宣布发布其下一代 C 系列质量流量控制器。
C 系列超快速质量流量控制器
C 系列质量流量控制器使用微机电系统 (MEMS) 技术与快速作用控制阀和 MKS 的专有算法相结合，从而实现小于 100 毫秒的超快速控制时间。C 系列设计用于非腐蚀性气体并适应从 50 sccm 到 50 slm 的宽流量范围，是许多需要高精度流量控制的先进市场的理想选择，包括但不限于分析、生物制药和工业应用程序。“通过利用 MEMS 技术，我们为在多个行业最苛刻的条件下需要精确气流控制的关键工艺应用提供了最佳解决方案，”Flow Solutions Products 总经理 Michael Patterson 说。